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星源科技在相继突破MDP-EUV光源、收集镜系统的技术壁垒后，瞬间成了科研界的香饽饽。

就连一些六七十岁的资深工程师也想毛遂自荐，希望可以参与其中。

陈延森并不介意“分蛋糕”，但前提得拿出...

“蔡司镀膜机的精度,在恒温恒湿环境下,确实能控制在0.05到0.1纳米之间。”设备组主任工程师回答得十分肯定。

“那问题来了。”陈延森沉声说道,“既然设备能达标,那为什么每次沉积完10层后,误差还是会有0.12到0.15纳米的波动?”

会议室陷入短暂的沉默。

“可能是沉积过程中的热应力变化导致的。”材料组的工程师推测道,“每次激光沉积都会产生局部热效应,影响后续膜层的附着均匀性。”

“那有没有办法在沉积过程中实时调整激光功率?”陈延森追问。

“理论上可以。”算法组的负责人点头,“但我们得先建立一个足够精确的反馈模型,实时采集镀膜机的数据,动态调整激光参数。”

“那就做。”陈延森果断拍板,“你们算法组牵头,设备组和材料组配合,三天内拿出一个初步的闭环控制方案。”

“三天?”算法组负责人有些迟疑,“这个模型的复杂度很高,数据量也很大……”

“我知道很难。”陈延森语气坚定,“但我们现在没时间慢慢磨。如果这个模型能成功,我们就能把沉积误差控制在0.05纳米以内,整个梯度涂层的工艺就能达到汪象朝提出的标准。”

“明白。”算法组负责人咬了咬牙,“我们拼一把。”

会议继续进行。

“关于冷管理子系统。”陈延森翻到技术文档的下一页,“文档中提到在镜体内部嵌入微通道水热结构,搭配钼合金基底,能有效解决低温损伤问题。这个方案的可行性如何?”

“我们已经做过初步模拟。”光学部的热控工程师回答,“水热通道的设计非常巧妙,水流路径呈螺旋状,既能均匀散热,又不会对镜体结构造成应力破坏。”

“那钼合金基底呢?”

“我们联系了中科院金属所,他们可以提供符合要求的钼合金样品。不过……”工程师顿了顿,“加工难度很大,需要纳米级的精密加工设备。”

“联系一下华科协会沈阳自动化所。”陈延森说,“他们那边有几台超精密五轴机床,应该能搞定。”

“好。”

“还有一个问题。”陈延森指着文档中的电磁场碎屑减急系统部分,“这个系统是用来减少等离子体碎屑对少层膜的冲击的,对吧?”

“没错。”热控工程师点头,“等离子体激发过程中会产生大量碎屑粒子,高速撞击镜面,会导致少层膜损伤。这个电磁场系统可以在碎屑接近镜面时将其偏转,起到保护作用。”

“那这个系统的能耗会不会太高?”

“文档中已经做了优化,使用脉冲式电磁场,能耗控制在可接受范围内。”

“很好。”陈延森合上文档,目光扫过会议室里的众人,“这套方案,几乎涵盖了我们当前面临的所有技术难题,而且每一个环节都有详细的设计和参数。你们觉得,这真的是林南一个人能独立完成的吗?”

众人面面相觑。

“我觉得……不太可能。”设备组主任工程师低声说,“除非他背后有整个顶尖团队的支持。”

“我也不信。”材料组的工程师皱眉,“这种级别的技术方案,至少需要十年以上的EUV光学经验,而林南才多少年资历?”

“那你们觉得是谁?”陈延森问。

“……汪象朝。”光学部的主任工程师迟疑地说出这个名字。

会议室里一片沉默。

“汪象朝已经失踪很久了。”费学低声说,“他上次发邮件说要去闭关,然后就再也没消息了。”

“但你们有没有想过。”陈延森缓缓开口,“如果汪象朝真的在闭关,而他闭关的内容,就是EUV光学系统的核心技术攻关呢?”

“……”

“不管这套方案是谁写的,我们现在要做的是尽快复现它。”陈延森站起身,语气坚定,“我给你们一个礼拜的时间,必须完成镀膜工艺的闭环控制模型、冷管理子系统的初步搭建,以及电磁场碎屑减急系统的实验验证。”

“是!”

众人纷纷起身,迅速散去,投入到紧张的实验和建模工作中。

与此同时,林南的办公室里。

他坐在电脑前,盯着那封加密邮件,久久没有动弹。

“……少壳层掠入射椭圆收集镜系统。”

他喃喃自语,眼中满是震惊与敬畏。

这不仅仅是一套光学系统方案,更像是一本EUV光学的“圣经”。

每一个参数、每一个设计、每一个工艺步骤,都精准到极致。

“这……根本不是人类能短时间内完成的。”林南喃喃道,“除非……他拥有某种超越常人的计算能力。”

他忽然想起汪象朝曾经说过的一句话:

“有时候,不是我们不够聪明,而是我们的时间不够用。”

林南猛地站起身,快步走向窗边,望着远处正在调试的EUV光源实验室。

“你到底……藏在哪里?”

他低声问道。

而就在此时,星源科技总部大楼的地下实验室中。

汪象朝静静地坐在一台量子计算机前,额头上布满冷汗。

他的双眼紧闭,仿佛在经历某种极端的精神负荷。

在他的意识中,无数复杂的数学模型、光学路径、材料参数正在飞速运算。

“【普朗克时钟】??启动。”

他轻声呢喃,整个人仿佛陷入了一种超越时间的思维状态。

在这个状态下,一秒被无限细分,思维速度被压缩到极致。

他正在推演整个EUV光学系统的运行轨迹。

每一道光线的反射角度,每一层膜的厚度误差,每一个电磁场的扰动变化……

他要确保这套方案,万无一失。

“……完成了。”

不知过了多久,汪象朝睁开眼,眼中闪过一抹疲惫。

他轻轻敲下键盘,将最终的参数模型加密,发送到林南的邮箱。

“希望他们能跟上节奏。”他低声说。

与此同时,陈延森的手机震动了一下。

他打开邮箱,看到一封来自“未知来源”的邮件。

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